Polovodičový vákuový systém je jedným z kľúčových zariadení používaných na výrobu polovodičových zariadení. Ide o uzavretý systém vo vysoko čistom, nízkotlakovom prostredí na manipuláciu a spracovanie polovodičových materiálov a zariadení.
V polovodičových vákuových systémoch sa často používajú vysokovýkonné gumové tesnenia kvôli požiadavkám na vysokú čistotu a nízku mieru úniku. Tu sú niektoré bežné typy gumových tesnení:
Viton (FPM) Tesnenia: Viton je chemikáliám a vysokým teplotám odolný fluoroelastomér široko používaný vo vákuových systémoch. Má vynikajúcu odolnosť voči vysokej teplote, odolnosť proti korózii a nízku priepustnosť pre plyny, vďaka čomu je vhodný pre požiadavky na tesnenie, ktoré odolajú vysokému vákuu a vysokoteplotnému prostrediu.
Tesnenia z nitrilu (NBR): Nitril je syntetická guma na všeobecné použitie s dobrou odolnosťou voči olejom a oderu. V polovodičových vákuových systémoch sa nitrilové tesnenia používajú hlavne v niektorých nevysokoteplotných a nekorozívnych aplikáciách, ako sú nízke vákuum a spoje plynovodov.
Silikónové (VMQ) tesnenie: Silikón je silikónová guma odolná voči vysokej teplote s dobrou elasticitou a tepelnou odolnosťou. Často sa používa v polovodičových vákuových systémoch, aby odolal požiadavkám na tesnenie vo vysokoteplotnom prostredí, ako je tepelné spracovanie, žíhanie a čistenie parou pri vysokej teplote.
EPDM tesnenie: EPDM je etylénpropylénová guma s dobrou odolnosťou voči oxidácii, odolnosťou voči kyselinám a zásadám. V polovodičových vákuových systémoch sa tesnenia EPDM často používajú v nevysokoteplotných a nekorozívnych aplikáciách, ako sú nízkovákuové a plynovody.
Tieto gumové tesnenia majú rôzne vlastnosti a rozsahy použitia. Pri výbere vhodného tesnenia je potrebné zvážiť faktory, ako sú pracovné podmienky systému, teplotný rozsah, vlastnosti média a požiadavky na tlak. Okrem toho, aby sa zabezpečil výkon tesnenia, proces výroby a inštalácie tesnení musí tiež spĺňať prísne požiadavky na proces.
V polovodičových vákuových systémoch sa okrem gumových tesnení často používajú gumové tesnenia na dosiahnutie účinného tesnenia. Tu sú niektoré bežné typy gumových tesnení:
Tesnenie O-krúžku: O-krúžok je gumové tesnenie s kruhovým prierezom a je široko používané v polovodičových vákuových systémoch. Má dobrý tesniaci výkon a kompresnú deformačnú schopnosť a môže sa prispôsobiť rôznym požiadavkám na tesnenie, ako sú potrubné spoje, ventily, spoje atď.
Ploché tesnenie: Ploché tesnenie je ploché gumové tesnenie bežne používané na prírubové spoje v polovodičových vákuových systémoch. Dosahuje utesnenie kontaktom s povrchom príruby a je zvyčajne vyrobený z gumy odolného voči vysokým teplotám, ako je napríklad Viton alebo Silikón.
Tesnenie v tvare U: Tesnenie v tvare U je gumové tesnenie v tvare U s prierezom vhodné pre špecifické potreby tesnenia v polovodičových vákuových systémoch. Často sa používa na utesnenie piestov, piestnych tyčí, valcov a iných komponentov a má dobrý tesniaci výkon a odolnosť voči deformácii pri stlačení.
Tesnenie v tvare V: Tesnenie v tvare V je gumové tesnenie v tvare V s prierezom bežne používané pre ventily a rotačné tesnenia hriadeľov v polovodičových vákuových systémoch. Dosahuje účinné utesnenie kontaktom s tesniacim povrchom a má dobré tesnenie a odolnosť proti opotrebovaniu.
Výber týchto gumových tesnení je určený na základe špecifických požiadaviek na tesnenie, pracovných podmienok a vlastností médií. Zároveň je veľmi dôležitý aj výber materiálu tesnenia. Bežne používané materiály zahŕňajú vitón, nitril, silikón atď. Pri špecifickom výbere by sa mali zohľadniť faktory, ako je teplotný rozsah, odolnosť voči chemickej korózii a rýchlosť úniku plynu. Pri inštalácii tesnenia by ste mali venovať pozornosť tomu, aby bol tesniaci povrch čistý a aby sa zabezpečilo, že tesnenie je nainštalované a stlačené správne, aby sa dosiahol dobrý tesniaci účinok.
Populárne Tagy: tesnenia polovodičového vákuového systému, výrobcovia tesnení polovodičového vákuového systému Čína, dodávatelia, továreň
